在半導(dǎo)體工藝中把做好的芯片從大源片上分離開來,需要一步叫劃片的工藝。劃片工藝是使用金剛砂輪把硅片切開,在切割的過程中能產(chǎn)生大量的硅片和金屬等的碎渣,這些碎渣會對芯片造成沾污,這就需要在劃片工藝中形成的礦渣進行清除,方法是對硅片進行清洗。傳統(tǒng)的清洗方法是用高壓水槍噴水清洗,或者用棉絨等蘸水擦洗,然后用氮氣吹干。這些方法容易造成對做好的芯片表面的劃傷或者二次污染,清洗效果不佳。所以需要有一種專門清洗這種硅片的設(shè)備,既能清洗干凈,又不會產(chǎn)生二次污染。
 

　　硅片甩干機具有位于機箱內(nèi)的甩干機構(gòu)、甩干輔助設(shè)備及電控系統(tǒng)，電控系統(tǒng)由交流伺服驅(qū)動電路、可編程控制器(PLC)、觸摸屏和交流伺服電機組成，觸摸屏的數(shù)據(jù)通訊端分別和可編程控制器的數(shù)據(jù)通訊端及交流伺服驅(qū)動電路的通訊連接端連接，交流伺服驅(qū)動電路的電機連接端及編碼器連接端分別和交流伺服電機的電源輸入端及編碼器輸出端電連接。
 

 

　　利用噴出的氮氣和高壓水來清洗硅片,然后停止噴水,利用高速旋轉(zhuǎn)和噴出的氮氣,將硅片吹干,使硅片的清洗和干燥比較均勻。主要完成的功能包括按鍵控制、LCD顯示、抽真空吸片、低速旋轉(zhuǎn)沖洗、高速旋轉(zhuǎn)甩干、步進電機擺動、排水以及由氣缸控制的開關(guān)門動作。單片機系統(tǒng)輸出的信號經(jīng)三極管放大后,由驅(qū)動芯片進行驅(qū)動控制繼電器,再控制電磁閥和直流電機驅(qū)動器,從而控制各功能部分動作。
 

　　硅片甩干機的維護保養(yǎng)：
 

　　1、保證安裝可靠接地。
 

　　2、檢查所有進出排水閥是否正常。
 

　　3、檢查控制面板上的各種操作按鈕，如有損壞及時更換。
 

　　4、檢查各個電氣柜進出線螺絲是否松動，并及時進行緊固。
 

　　5、檢查及清潔電氣原器件，避免造成漏電及局部短路，接觸不良。
 

　　6、檢查管路是否有泄漏，若發(fā)現(xiàn)異常情況通知相關(guān)設(shè)備維修人員進行處理。
 

　　7、可用百潔布將甩盤下及周圍的銹跡清理干凈。
 

　　8、可用無塵紙沾用酒精將腔內(nèi)、甩盤及周邊清理干凈。
 

　　9、使用完畢后切斷設(shè)備電源。